當(dāng)光進(jìn)入Lumetrics 測(cè)厚儀的干涉儀后，輸入光被等比例分束成為兩束光。這兩束光頻率相同、振動(dòng)方向相同，但具有穩(wěn)定的相位差，并沿不同光路傳播。在輸出端重新匯合疊加時(shí)，會(huì)出現(xiàn)光的干涉現(xiàn)象。光強(qiáng)在疊加區(qū)域內(nèi)不是均勻分布，而是在數(shù)值之間逐點(diǎn)變化，可能超過(guò)兩光束之和，小值可能是零。通過(guò)分析這種干涉條紋的變化，可以準(zhǔn)確地測(cè)量出被測(cè)物體的厚度。
 

　　Lumetrics 測(cè)厚儀優(yōu)點(diǎn)：
 

　　-非接觸式測(cè)量：它不需要與被測(cè)物體直接接觸，避免了傳統(tǒng)接觸式測(cè)量可能對(duì)物體表面造成的劃傷、磨損等損害，尤其適用于測(cè)量柔軟、易碎或表面精度要求高的材料，如薄膜、涂層等。同時(shí)，非接觸式測(cè)量也減少了測(cè)量過(guò)程中對(duì)被測(cè)物體的干擾，能夠更真實(shí)地反映物體的實(shí)際厚度。
 

　　-高精度測(cè)量：利用光學(xué)干涉原理，能夠?qū)崿F(xiàn)較高的測(cè)量精度。它可以檢測(cè)到微小的厚度變化，對(duì)于納米級(jí)厚度的測(cè)量也能準(zhǔn)確進(jìn)行。這種高精度特性使其在對(duì)厚度要求嚴(yán)格的行業(yè)，如半導(dǎo)體制造、光學(xué)薄膜制備等領(lǐng)域具有重要應(yīng)用價(jià)值，能夠滿(mǎn)足這些行業(yè)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量和性能的高要求。
 

　　-實(shí)時(shí)在線(xiàn)測(cè)量能力：該測(cè)厚儀具備實(shí)時(shí)在線(xiàn)測(cè)量功能，能夠在生產(chǎn)過(guò)程中持續(xù)不斷地對(duì)物體厚度進(jìn)行監(jiān)測(cè)。這對(duì)于大規(guī)模生產(chǎn)的工業(yè)環(huán)境來(lái)說(shuō)至關(guān)重要，操作人員可以根據(jù)實(shí)時(shí)測(cè)量數(shù)據(jù)及時(shí)調(diào)整生產(chǎn)工藝參數(shù)，確保產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性和一致性，提高生產(chǎn)效率，降低次品率。
 

　　-多層膜測(cè)量能力：Lumetrics 測(cè)厚儀可以單次測(cè)量多層膜的厚度，可測(cè)高達(dá)20層的膜。這一特點(diǎn)使得它在復(fù)雜的多層結(jié)構(gòu)材料測(cè)量中具有特殊的優(yōu)勢(shì)，例如在光學(xué)鍍膜、電子封裝等領(lǐng)域，能夠準(zhǔn)確地分析每一層薄膜的厚度和質(zhì)量，為產(chǎn)品的研發(fā)和生產(chǎn)提供關(guān)鍵的數(shù)據(jù)支持。
 

　　-靈活的配置和多目標(biāo)測(cè)量：其探針可根據(jù)具體測(cè)量需求進(jìn)行靈活配置，可配備8個(gè)探頭。通過(guò)合理配置探頭，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)多個(gè)不同目標(biāo)的測(cè)量，滿(mǎn)足復(fù)雜測(cè)量場(chǎng)景的要求，提高了測(cè)量的效率和靈活性，為用戶(hù)提供了厚度測(cè)量解決方案。
 

　　-快速測(cè)量速度：測(cè)量速度快是Lumetrics 測(cè)厚儀的又一優(yōu)點(diǎn)，其測(cè)量速度可達(dá)1s。在生產(chǎn)線(xiàn)上，快速的測(cè)量速度能夠及時(shí)跟上生產(chǎn)節(jié)奏，減少測(cè)量時(shí)間對(duì)生產(chǎn)過(guò)程的影響，提高生產(chǎn)效率，同時(shí)也有助于更頻繁地獲取測(cè)量數(shù)據(jù)，以便更準(zhǔn)確地監(jiān)控產(chǎn)品質(zhì)量。